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  理想晶延半導體設備(上海)有限公司(簡稱“理想晶延”)自20135月于上海張江成立以來,始終致力于高端裝備產業發展。為積極響應松江區實施G60“科創走廊”戰略號召,公司于2017年落戶松江并成為正泰啟迪智電港首批入駐企業,在高端裝備研發及產業化方面取得了快速的發展和豐碩的成果。


一、公司概況

理想晶延公司是理想能源設備(上海)有限公司的子公司,定位于成為國際領先的光電設備供應商,打造了由產業、金融、智力資本融合推動的高端裝備研發與創業平臺市場化運作模式。公司由創立之初的40名員工發展為目前的138余名員工, 其中包括千人計劃專家、海歸博士、外國專家在內的高端技術人才占比超過半數,公司的核心專家團隊在全球領先的高端裝備企業擁有多年的研發與管理經驗,合計擁有100多項國際專利。

理想晶延成立5年多來,累計投入近億元資金,在亟需國產化的高端裝備領域成功推出MOCVD(金屬有機物化學氣相沉積)設備、ALD(原子層沉積)設備的國內首臺(套)產品,打破了國際設備巨頭的長期壟斷,并實現了由研發到產業化的突破。ALD設備在多家一線主流客戶處量產,已形成的高效電池片產能超過15GW

公司團隊先后承擔了包括上海市高新技術產業化項目、工信部電子產業發展基金項目、上海市首臺突破專項等重大科技專項,截至20181月累計申請了33項專利,其中發明專利30項,另有軟件著作權9項,公司被認定為 “上海市高新技術企業”、上海市“專精特新”企業并榮獲2018年度上海市科技進步二等獎。


二、業務領域與主要產品

近年來光伏行業已逐漸步入成熟期,追求高效低成本已成為產業發展必然趨勢。理想晶延積極開發布局核心裝備技術,推出了高效PERC電池核心裝備-ALD背鈍化設備, CIGS薄膜電池設備等太陽能電池核心生產設備。

1發射極及背鈍化高效太陽能電池(PERC)原子層沉積(ALD)設備

理想晶延自2014年起布局高效光伏背鈍化設備開發,采用國際領先的ALD(原子層沉積)技術,自主研發了氧化鋁背鈍化ALD設備。與國外背鈍化設備相比,理想晶延的ALD設備在鍍膜質量、穩定性、碎片率、材料及維護成本等方面均具有優勢,目前采用這一設備的單晶PREC電池轉化效率處于世界領先水平。憑借產品技術優勢,理想晶延逐步取得了國內外主流太陽能電池廠商的廣泛認可,截至20191月已累計出貨ALD設備100臺(合計產能超過15GW),并出口至越南、泰國等地。

理想晶延公司始終保持與國際同步的研發能力,二代機已研發成功并推向市場,其產能相比一代機翻了一番: 達到7500/小時,同時設備結構更優化、運行更穩定,得到了客戶的廣泛肯定。

2)銅銦鎵硒(CIGS)共蒸發設備

目前國際國內市場上CIGS薄膜電池的生產設備基本被國外設備公司壟斷,理想晶延與漢能集團合作實現了CIGS共蒸發設備本土化。該設備采用CIGS四元化合物蒸發源共蒸發技術路線,通過有效控制真空、壓力、溫度等關鍵性指標一步完成CIGS薄膜制備;工藝控制相對穩定,設備的生產運行可靠性大大提高,適合大規模生產應用。截至2018年底,已實現出貨14臺,設備于客戶端工藝運行良好。

3)半導體封裝定制設備

隨著半導體行業的快速發展, 芯片的密度越來越高,相應的封裝技術呈現多樣性發展,例如3D封裝。這對半導體后道封裝提出了新的要求和挑戰。理想晶延公司與國外行業領先公司合作, 基于其在半導體封裝定制設備領域多年的技術積累,積極布局高端半導體封裝定制設備的技術和市場開發,相關產品將陸續推向市場。

我們的愿景是:成為國際領先的半導體高端裝備研制企業!

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